FIB为什么要用液态镓来做离子源？ FIB，全名Focused Ion Beam，聚焦离子束，在芯片制造中十分重要。主要有四大功能：结构切割，线路修改，观察，TEM制样等。 fib 离子束 离子源 2024-12-09 13:56 1