ASML首台第二代0.55(High) NA EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200，即将以“早期工具”身份发货用于技术验证。EXE:5200是EXE:5000的改进款，更适合大批量生产，预计有更高晶圆吞吐量，能支持更精细的后2nm逻辑半导体工艺。此外

亚冬会 重大新闻 国内外重大新闻 2025-02-02 08:10  3