光刻机铁幕

从阿斯麦到哈工大:我国如何用“火花革命”撕开EUV光刻机铁幕

当全球科技界还在为荷兰ASML的EUV光刻机神话顶礼膜拜时,位于中国东北冰城哈尔滨的一间实验室里,一场“火花革命”正悄然酝酿。两根电极之间迸发的等离子体火花,竟可能成为改写全球半导体规则的关键——这究竟是科幻小说的情节,还是中国科技突围的现实?

火花 哈工大 光刻机 铁幕 光刻机铁幕 2025-03-10 22:43  4