聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）的用途 FIB-SEM系统通过聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）两种互补技术，实现了材料的高精度成像与加工。FIB技术利用电透镜将液态金属离子源产生的离子束加速并聚焦，作用于样品表面，可实现纳米级的铣削、沉积、注入和成像操作。这种技术能够对样品进行精确的微 fib 电子显微镜 离子束 扫描电子显微镜 离子束扫描 2025-03-12 11:15 3