中国科学院的研究人员最近开发出一种紧凑型固体激光系统，能够产生波长为 193 nm 的相干光。这种波长对于光刻技术至关重要，而光刻技术是现代电子设备中用于在硅晶片上蚀刻复杂图案的一种技术。

激光 中国科学院 固体 涡旋 涡旋光束 2025-04-03 14:12  10

中国科学院的研究人员最近开发出一种紧凑型固体激光系统，能够产生波长为 193 nm 的相干光。这种波长对于光刻技术至关重要，而光刻技术是现代电子设备中用于在硅晶片上蚀刻复杂图案的一种技术。

激光 科学院 固体 涡旋 涡旋光束 2025-04-03 10:51  11

这一突破性成果3月9日发表在光学专业期刊《Advanced Photonics Nexus》上，由中国科学院研究团队完成，为半导体制造技术提供了新的可能性，或打开我国光刻机技术全新突破口！

激光 纳米 涡旋 涡旋光束 纳米涡旋 2025-03-25 09:07  12

近日，来自中国科学院空天信息创新研究院和中国科学院大学的研究人员打造出一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统，该系统能在 6 kHz 的重复频率下生成 193 nm 的相干光，未来有望用于芯片光刻领域。

激光 泵浦 涡旋 涡旋光束 拉盖尔 2025-03-24 15:54  11

这一突破性成果3月9日发表在光学专业期刊《Advanced Photonics Nexus》上，由中国科学院研究团队完成，为半导体制造技术提供了新的可能性，或打开我国光刻机技术全新突破口！

激光 光刻 涡旋 光刻技术 涡旋光束 2025-03-23 12:40  12