阻挡层

一文了解金属互连中阻挡层

随着集成电路的集成度越来越高，器件尺寸变得越来越小，金属互连设计也紧跟这个趋势，布线的密度增加了，更长的互连线会导致了更高的电阻。与此同时，互连体积的减少会引起电容耦合和串扰的几率显著增加。当互连尺寸很小时，RC 延迟的大小深刻影响着芯片的性能（R 代表了互连