导轨轴承

千万别小瞧线性导轨轴承！

光刻机，利用极紫外光将掩模版上的电路图案投影到硅片上，制造出超精密芯片。其中，线性导轨轴承至关重要，它要保证工作台在纳米精度下平稳移动。一旦定位出现偏差，电路图案就会扭曲，芯片良品率直线下降，因定位偏差导致的废品率最高可达 30%。