尺寸扫描电镜

关键尺寸扫描电镜（CD-SEM）技术解读

计量学是推动当前及未来几代半导体器件开发与制造的重要基石。随着技术节点不断缩小至100纳米，甚至更小的线宽，以及高深宽比结构的广泛应用，扫描电子显微镜（SEM）凭借其高分辨率和多功能性，依然在全球半导体制造的多个阶段中占据核心地位。