安徽国芯智能申请保持基板AB面图形高精度对齐的曝光方法专利，有效克服基板AB面图形对齐精度缺陷 国家知识产权局信息显示，安徽国芯智能装备有限公司申请一项名为“保持基板AB面图形高精度对齐的曝光方法”的专利，公开号CN119937258A，申请日期为2025年3月。 基板 图形 基板ab 安徽国芯 国芯智能 2025-05-07 19:50 11
