低噪声气冷罗茨真空泵ZJQ600/400的研制
本文分析了气冷罗茨真空泵工作过程中产生噪声的主要根源,通过在 Pro/engineer 环境中三维实体精确建模,设计制做了一种减缓排气口及两侧返冷气口的高压气体对基元容积内低压气体敞开冲击速度的扭叶转子,降低常用前级泵ZJQ600/400气冷罗茨真空泵的主要噪
本文分析了气冷罗茨真空泵工作过程中产生噪声的主要根源,通过在 Pro/engineer 环境中三维实体精确建模,设计制做了一种减缓排气口及两侧返冷气口的高压气体对基元容积内低压气体敞开冲击速度的扭叶转子,降低常用前级泵ZJQ600/400气冷罗茨真空泵的主要噪