宽幅磁控溅射

科技创新年 | 深研院联合攻关破解“卡脖子”难题,首台国产高功率大宽幅磁控溅射设备通过验收

2025年6月17日上午,我国首台具有自主知识产权的高功率大宽幅磁控溅射设备在深圳宝安区劲嘉工业园通过验收。该设备由北京大学深圳研究生院联合劲嘉集团、深圳后浪实验室共同承担研制,其成功验收标志着我国在新能源电池核心装备领域取得重大突破,成为北大“新工科”建设过

磁控溅射 首台国产 磁控溅射设备 宽幅磁控溅射 乔鲁予 2025-06-21 16:11  4