光刻胶烘烤

光刻胶烘烤概述

在微电子制造与半导体工业中，光刻技术是芯片图案化的核心工艺。光刻胶作为光刻工艺的“画笔”，其性能直接决定了电路图案的精度与良率。而在光刻胶处理流程中，烘烤步骤犹如一场精密调控的化学反应，通过温度与时间的精确配合，确保光刻胶从液态涂布到稳定结构的完美蜕变。本期将