金属刻蚀

全球首台，中微公司12寸金属刻蚀机付运

中微公司的12英寸ICP单腔刻蚀设备 Primo Menova 专注于金属刻蚀，尤其擅长于金属Al线、Al块的刻蚀，可广泛应用于功率半导体、存储器件和先进逻辑芯片的制造，是晶圆厂金属化工艺主要设备之一。