当半导体制程进入 “原子级雕刻” 时代，EUV 光刻的天价门槛与技术封锁让全球芯片产业陷入焦虑。中国首台半导体级步进式纳米压印光刻机（PL-SR）的交付，像一把突然插入僵局的钥匙 —— 它不仅打开了国产装备自主化的门缝，更让人窥见一条 “非对称突破” 的新路径

半导体 光刻机 压印 纳米压印 压印光刻机 2025-08-06 01:47  3