薄膜沉积

【半导体设备】10家半导体薄膜沉积设备企业竞争力解析

薄膜沉积技术是一种关键的半导体前道工艺，它涉及利用外部能量激活各类化学反应源，随后使生成的原子、离子或活性反应基团在特定的衬底表面上吸附、聚结，进而构建出具有不同介质特性的薄膜。薄膜沉积设备是实现这一工艺的核心装备。