摘要：不管是对很多半导体业者还是资本市场来说，这家企业从诞生开始就始终带着神秘色彩，也伴随着各种各样的传说。随着美国对国内半导体制程、核心设备卡脖子越来越严，新凯来肩负的期望也越来越大。

参加今年的Semicon肯定无法绕过新凯来。甚至可以说，新凯来高调亮相很大程度上提升了这次Semicon的人气。

不管是对很多半导体业者还是资本市场来说，这家企业从诞生开始就始终带着神秘色彩，也伴随着各种各样的传说。随着美国对国内半导体制程、核心设备卡脖子越来越严，新凯来肩负的期望也越来越大。

在展会之前，我们大概可以知道，作为一家半导体设备厂商，它有着花家背景，有国家战略级的顶层支持；我们还知道这家企业应该在前道核心设备都有布局，并且可能对核心零部件也有涉猎；坊间传闻，这家企业在花系晶圆厂的工艺制程中扮演重要角色（比如套刻、等效7、5节点的实现）；光刻机-设备皇冠上的明珠—研发希望也很大程度寄托在它身上。

新凯来一口气在Semicon上发布以中国名山命名的2大种类、7个系列（共30个机型）设备产品，覆盖扩散、刻蚀、薄膜、前道量检测及功率检测（晶圆、die、单管和模组）。产品用不着细说，网上太多信息都在罗列产品，而且新凯来也并没有给出更多细节参数。

这么高调的亮相是新凯来的首次，恐怕也出乎很多从业厂商、观众预料。

#1 已经发布产品的布局

先随便上一张图，感受一下新凯来设备的覆盖情况。

这是民生证券引用Gartner对2023年半导体前道核心设备的统计数字。新凯来覆盖了沉积类的CVD\PVD\ALD（就是新凯来自己讲的薄膜类）、干法刻蚀中的硅/金属、介质、高选择比刻蚀，热处理类中的氧化扩散和退火（新凯来自己归类到RTP中，此次同时发布的还有EPI（外延）设备）。

人们最希望看到的是光刻机。现场当然也有人问到，回复是“神秘”的微笑。

在量检测方面，新凯来一口气推出10款设备。

简单说几句量检测，量检测设备为大众熟悉的程度并不像是工艺设备那么高。现在差不多炒股的股民和爱国群众，随口都能说出光刻机、刻蚀、7nm，但是量检测设备却好像不太那么为人熟知。

事实上，量检测设备在半导体制程中的重要性非常之高，贯穿半导体制程前后道工艺始终。嗯，简单来说，一颗先进制程芯片从祼晶圆到芯片封装成器件之间，可能要经历几百上千道工序，我们通常所说的良率，就是每道处理工序良率类似乘法得出的最终结果。这样可以想像，中间微小的瑕疵和良率变化，就会对后面结果（良率、性能）形成巨大影响。

量检测设备就是在整个流程中测量关键尺寸、参数、缺陷和性能的关键。根据国金证券引用的semi数据，2022年全球量/检测设备市场 规模约108亿美元，中国大陆市场规模约为 32 亿美元。量检测设备为检测和量测两大类，检测大致重点在缺陷、污染、划伤等结构性缺陷，量测则重点在对制造过程中的结构尺寸和材料特性做出量测和描述，量、检测两大类设备大概市场占比划分六四开。国际领先厂商有KLA（科磊）、应用材料等厂商，国内领先的厂商包括中科飞测、精测电子、天准科技、睿励仪器等。体会一下国内外的差距，根据中科飞测的数据，产品覆盖度27%，而KLA对产品覆盖度达到85%。

差不多这样的一个市场状况。新凯来推出的量检测设备包括明、暗场检测设备、无图形和掩膜检测设备、套刻量测、PX量测设备。另外还有功率检测设备。

简单总结，新凯来推出的设备从种类、覆盖度上，差不多是一个矩阵式的结构，重要的工艺设备和制程中重要性非常高的量检测设备同时推出，这是以前国产厂商从未有过的，也是国际龙头厂商从未有过的。不管国内还是国外设备厂的心情可能都会有些复杂和微妙。

虽然传说中的设备仍然没有直接亮相，相信肯定是这家企业的核心重点之一。

这里可以对比一下现在国内外主要设备厂商的布局。有人说北华创、南新凯来也就不足为奇。另外，北方华创在这次Semicon上发布了离子注入机和电镀设备，进一步补全自己的产品矩阵。

#2 新凯来的远望

前面说过，新凯来一股脑高调推出30款设备，覆盖工艺制程、量检测多个领域和工艺段，是国内外厂商少见的打法，使这家自带神秘色彩的设备厂商前后如此大的反差更为人瞩目。

新凯来工艺装备产品线总裁杜立军在展会上有一段比较简短的演讲，结合其设备布局和演讲内容可以大致推测新凯来的打法和远望。

新凯来整体的设计理念是，

“一代工艺，一代材料，一代装备。我们希望在底层的精准能量控制、智能的窗口调优以及快稳准的控制系统上面，给我们的工艺的开发以及材料的演进插上翅膀。希望在未来的更精细化的管理上面能够提供一个更优的解决方案。”

显然新凯来并不是单纯为了替代而制造设备，更远的期待是通过包括材料变化、工艺控制、软件硬件控制系统结合，来推动技术节点（起码是国内受到诸多限制的情况下，独立技术节点进步的路径）进步。核心是要推动PPAC提升，简单说一句半导体设计制造中，性能（Performance）、功耗（Power）、面积（Area）、成本（Cost）是四大核心指标，通过技术与工艺的协同优化实现四者的动态平衡达到最优一直是半导体设计和制造的核心诉求。

这样我们可以大概推测新凯来超级宏大的远望，以一家（或者说集成花系在半导体设计、产业链、软硬件的布局）之力，推动稍近点常说的国产替代到推动半导体整体技术进步。

演讲中还提到了连关心半导体卡脖子的路人也听过的套刻，正面提到SAQP多重曝光等技术（坊间和同业们其实已经有所了解，也是实现重要节点、去年让国人振奋的核心技术之一）。

除了工艺和设备层面，新凯来在软件层面比较重要的点是仿真。当然对于一些头部厂商来说，仿真都非常重要，新凯来作为一家新厂（起码是公开角度第一次正面认识的厂商），在软件层面的布局同样也是高举高打。

“我们从原子的物理模型开始，到腔室的一些化学，包括反应的模型，以及到诊断，我们构建了全面的仿真诊断的设计能力。我们现在的这套仿真软件能力可以对标行业最先进公司的仿真精度和准度。那么我们这套软件叫问源，取自于我们一句诗——问渠哪得清如许，为有源头活水来。”

“我们的射频源、匹配器、卡盘、线圈磁控管、气体阀、气体阀以及探测器，也要同步能够适配我们的设置。新凯来也是从系统设计到硬件架构，再到器件和算法上面都做了完整的布局。”

在设备零部件角度，显然新凯来也做了自己考虑。同样，任何一家设备厂商都会有差不多的要求。

“我们认为，对于一台设备，它的整个控制系统是非常关键的。过去大家看到用的大多数是PLC控制系统。过去几年，我们行业的同仁已经基本上看到我们在先进的处理器和逻辑的系统上面的应用逐渐会多起来。那么怎么样才能够把我们的硬件的系统做到快。准、稳，这是一个未来避不开的命题。

有见及此，新凯来构建了全套的自研的控制系统。与传统的PLC相比，我们当前的设备已经是能够在我们的控制能力上有一个倍率的提升。”

控制系统上自研。半导体设备是现在科学中非常复杂的工业构成，核心技术涉及到物理化学计算机等多领域跨学科技术的集成。工控技术也是其中重要的支点。

但是，又是一个但是，回头看下从整机、到零部件（不管是自研还是外采）、软件、控制系统，这些零散的点组合起来，还真的是花家风格典型打法。比如在智能手机、新能源汽车，一个类似生态角度的构建大致可以想像，新凯来很有点像这个生态的核心支点（至少是之一）。重中之重是，不一定自己做但是自己一定掌握所有最核心的东西。

#3 猜想几句

1)新凯来如此高调的一次性发布30款产品，对于国产链、国人、甚至大洋彼岸都有相当的震撼效果，当然各家滋味不同。彼岸政策不确定性中的确定性，是对国内半导体产业链的限制范围越来越广、尺度越来越严，反而推动国内半导体设备走出一批优秀的企业。新凯来当然有相当大概率是最优秀的之一。

2)此次高调的亮相当然不会主要是为了订单，在展会上获取订单是太例外的例外。专业展示、验证是在更专业的层面和场合下，以设备厂和晶圆厂之间成熟的互动方式，这种可能性基本没有。

坊间有猜想是走向市场化、融资，这个说法自去年在机构间就有传说。其实也不难理解，假设新凯来担负如此大的期望和使命，那么资本投入就是技术背后绕不开的话题。有一组数据可以大致看下半导体设备厂商的研发支出强度，根据ASML2024年财报数据，全年研发支出45亿美元；KLA截止2024年6月财年的研发支出为12.8亿美元，截至2024年12月的半年报研发支出为6.8亿美元；在国内北方华创2023年研发支出24亿人民币，2024年前3季度研发支出22亿人民币；中微公司2023年研发支出8亿人民币，2024年前3季度研发支出9亿人民币。

尽管深重投自身资金雄厚，在如此高规格上升到国与国之间的博弈层面，集中足够的、多角度和来源的资本支持是一个明智而必要的选择。

当然以花系的行事风格，高调宣传也是除顶级产品和技术之外的竞争利器之一。尤其是当前的环境下，无论是从国际竞争形势还是自身在各领域国产线上的口碑声望角度，这种出场亮相都有益处。更何况，早已经被彼岸划入名单多次，也就不用藏着掖着，要决定的是何时如何亮相。

3)产业链会有不同的反应。

首先是同业，难以避免的是会产生巨大压力。从布局上看，此前还没有一家厂商在一开始亮相就如此高调强势。即使是北方华创也是一步步走到今天。应该有不少人记得当年的七星电子如何一步步到今天。最近北方华创二级市场并购芯源微、展会上进入离子注入和电镀设备领域，显然也是冲着全平台型发力。

后进入者有可能会把行业竞争推向更加激烈的程度。但是按照花系惯常的打法，这样的推测并不见得完全准确，也小看了花系的野望（虽然在产品方面确实是难以避免竞争，而花系风格也确实极具攻击性）。

以国内设备厂商的发展阶段而言，似乎还不必要过多把重点放在这里，我们还有太多可突破的点要去关注。花可能想要的更大，但是现实就是现实，竞争也是推动行业发展的重要动力之一。

其次是下游晶圆厂，可能反应相对复杂。可以参考花系进入汽车制造领域的经历，尽管从花与国内大厂合力解决关键制程的案例看到结果似乎不错。但是对于晶圆厂来说，有可能会出现传统车厂一开始的反应。那么传言中花系在半导体制造端的重组动作也就不奇怪。

第三是供应链。很多人的第一直觉是会对零部件厂商形成拉动效应，并且在技术上提供支持甚至指导，这是非常好的一面。但是按照布局和演讲的说法，背后含义可能会对供应链的掌控程度非常之高。同样可以参考智能手机和新能源汽车。

嗯，理解意思吧。

4） One more thing，也是非常重要的一点。半导体设备（或者半导体制造）与智能手机、新能源汽车有本质不同，其更贴近于基础科学的本质导致复杂程度和开发难度都不在同一个能级。半导体设备的积累往往要经历几十年多次迭代、试错，如此短时间高举高打、快速且全面的突破，尽管有站在全世界多年发展的基础之上、无限量资金支持、最顶级的技术团队条件，历史上仍然没有可参照的类似对像。实际的表现仍然要客观观察，这要比展会上的震撼难上千百倍，也无法通过任何真实结果之外的评价得到验证。

此记。

来源：欧阳公明仔父一点号