摘要：金融界 2025 年 4 月 17 日消息，国家知识产权局信息显示，国科光芯金杏（北京）实验室科技有限公司申请一项名为“一种异质集成电光调制器件及其制备方法”的专利，公开号 CN 119828363 A，申请日期为 2025 年 1 月。

金融界 2025 年 4 月 17 日消息，国家知识产权局信息显示，国科光芯金杏（北京）实验室科技有限公司申请一项名为“一种异质集成电光调制器件及其制备方法”的专利，公开号 CN 119828363 A，申请日期为 2025 年 1 月。

专利摘要显示，本发明提供了一

种异质集成电光调制器件及

其制备方法，方法包括：在衬

底上依次形成下包层和波导

芯层，对波导芯层图形化形

成波导芯，形成第一键合介质层，将波导芯和下包层覆盖；在波

导芯的两侧形成凹槽，形成金属层，将凹槽和第一键合介质层

覆盖，在形成的金属凹槽内形成图形化的第一光刻胶层；对第

一光刻胶层进行灰化，以灰化后的第一光刻胶层为掩模，通过

干法刻蚀图形化金属层，再去除第一光刻胶层，形成电极；在电

极上形成图形化的第二光刻胶层，湿法刻蚀去除凹槽内残留金

属层，再去除第二光刻胶层；在凹槽内填充第二键合介质层，在

第一键合介质层和第二键合介质层的表面形成电光材料层。本

发明可以兼顾低的光传播损耗和高的 CMOS 工艺兼容性。

天眼查资料显示，国科光芯金杏（北京）实验室科技有限公司，成立于2021年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，国科光芯金杏（北京）实验室科技有限公司专利信息22条，此外企业还拥有行政许可2个。

来源：金融界