摘要：金融界 2024 年 12 月 7 日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于提供较短且对称的接地路径的接地路径系统”的专利，公开号 CN 119082711 A，申请日期为 2019 年 5 月。

金融界 2024 年 12 月 7 日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于提供较短且对称的接地路径的接地路径系统”的专利，公开号 CN 119082711 A，申请日期为 2019 年 5 月。

专利摘要显示，此处所述的实施例关于提供较短且对称的路径的接地路径系统，用于将射频(RF) 能量传播至接地以减少寄生等离子体的产生。接地路径系统将腔室的处理容积分叉以形成内部容积，内部容积隔绝处理容积的外部容积。

来源：金融界