昂坤视觉产品驿站 | 探秘化合物半导体量测与检测设备，逐个看！

摘要：昂坤视觉于2017年在北京创建，致力于为化合物半导体、光电和集成电路产业提供光学测量和光学缺陷检测设备及解决方案。经过多年的研发和技术积累，具备光学系统设计、机器视觉及AI深度学习算法等研发能力，获得了国家级专精特新“小巨人”、北京市企业技术中心、ISO900

来源：雅时化合物半导体

昂坤视觉于2017年在北京创建，致力于为化合物半导体、光电和集成电路产业提供光学测量和光学缺陷检测设备及解决方案。经过多年的研发和技术积累，具备光学系统设计、机器视觉及AI深度学习算法等研发能力，获得了国家级专精特新“小巨人”、北京市企业技术中心、ISO9001质量管理体系认证等资质，是一家集研发、生产、销售、服务为一体的国家高新技术企业。

化合物产品介绍（如需了解公司集成电路设备，欢迎垂询，联系信息见后）：

化合物无图形缺陷检测系列

E3500：SiC衬底/外延缺陷检测设备

E3500是检测SiC衬底和外延缺陷的全自动设备，具有BF/DF/PL通道，可以检测并分类Particle、Pit、Bump、Shallow scratch、PL-Black、Triangle、Carrot、Downfall、Micropipe、Stepbunching、Grain-boundary、SF、SSF、BPD等缺陷。兼容4"、6"、8"晶圆自动上下料。

E3200：GaN缺陷检测设备

E3200可以检测GaN单晶衬底以及Si基、SiC基和蓝宝石基GaN 外延片表面和PL缺陷，具有BF/DF/PL通道，可以检测并分类Particle、Pit、Bump、Scratch、Stain、Crack、PL-Black、Hex、Hexpit、Crescent、Crystal-Defect等表面及荧光缺陷。支持4"、6"、8"晶圆全自动检测。

E1000：化合物缺陷检测设备

E1000 可以检测GaAs/InP/LT/LN/Sapphire/MCT/Glass等衬底及外延片缺陷。具有BF/DF通道，可以检测并分类Particle、Pit、Bump、Scratch、Stain等缺陷，支持4"、6"、8"晶圆全自动检测。

E500: SiC宏观缺陷检测设备

可检测缺陷类型：

SiC衬底: Poly crystal, Crack, Edge chipping, Scratch, Hexagonal shape, Inclusion, Carbon residue, Micropipe, Stain, Poly type, Dislocation area.

SiC外延: Edge carbonize, Fog, Polishing lines, Edge chipping, Crack and micropipe, Poly crystal, Holder mark, Edge deposition.

化合物有图形缺陷检测系列

H2000:化合物图形检测设备

设备集成了BF和激光暗场检测线扫及可变倍率的面阵检测系统，最小精度可以到80nm；可用于AEI， ADI以及后续工艺缺陷检测

测量设备

SPI300：晶圆形貌测量设备

SPI300晶圆形貌测量设备是一款专门测量晶圆Bow、Warp、Thickness、TTV、LTV、Stress、TIR、LTIR、Sori等参数并且进行分选的设备。支持4"、6"、8"晶圆检测，覆盖晶圆厚度380微米--2000微米。