摘要:铠侠宣布,已开发出OCTRAM(使用氧化物半导体的DRAM)技术,这是一种新型4F2 DRAM,由同时具有高导通电流和超低漏电流的氧化物半导体晶体管组成。该技术由铠侠与南亚科技(Nanya)联合开发,采用了全栅InGaZnO(铟镓锌氧化物)垂直晶体管,通过集成
铠侠宣布,已开发出OCTRAM(使用氧化物半导体的DRAM)技术,这是一种新型4F2 DRAM,由同时具有高导通电流和超低漏电流的氧化物半导体晶体管组成。该技术由铠侠与南亚科技(Nanya)联合开发,采用了全栅InGaZnO(铟镓锌氧化物)垂直晶体管,通过集成度氧化物以及器件和工艺优化,可将漏电流降低到“极低”水平。
OCTRAM技术重点是降低功耗,适用于SCM应用的大容量MRAM,以及高密度和高性能的新型3D NAND闪存结构。新技术还有望广泛应用于各种需要降低功耗的应用,包括人工智能(AI)、5G通信系统和物联网产品。
4F2术语指的是DRAM存储单元,其中单元面积是特征尺寸 (F) 的四倍。根据铠侠之前在IEDM 2024上的介绍,这种晶体管设计实现了“Ion=15uA/单元 (Vg=2V) 和 Ioff=1aA/单元 (Vg=-1V),275Mbit OCTRAM 阵列采用WL 54nm/BL 63nm间距制造,并在设计的电压范围内成功运行”。
在OCTRAM结构中,InGaZnO垂直晶体管作为单元晶体管,集成在高纵横比电容器的顶部(电容器优先工艺),这种设计允许高级电容器工艺与InGaZnO性能之间的相互作用得以去耦合。与传统的6F2 DRAM相比,4F2 DRAM在存储密度方面具有显着优势。
来源:小张er日记
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