摘要：一般的芯片制造设备中有数百种工具需要定期维护。工具维护精确度非常重要，因为子系统的精确组装会直接影响产量，人类的精确度虽不如机器，但直到最近仍会以人工进行维修。

科林研发（Lam Research）周二（10日）推出协作机器人（cobot）“Dextro”，可准确且可重复维护芯片制造工具。

一般的芯片制造设备中有数百种工具需要定期维护。工具维护精确度非常重要，因为子系统的精确组装会直接影响产量，人类的精确度虽不如机器，但直到最近仍会以人工进行维修。

Dextro是一款移动机器人设备，其手臂配备可互换的末端执行器，用于执行三项关键维护任务。协作机器人安装耗材组件的精确度是手动安装的两倍以上，确保组装正确，并改善芯片边缘的蚀刻性能，还可按照精确的规格拧紧高精度真空密封螺栓，将手动错误率降低5%，防止可能中断生产的温度偏差。

此外，Dextro还可安全清除腔室壁上堆积的聚合物，不需要工程师使用厚重的呼吸防护装备，不过Dextro还不能取代仍在控制设备的技术人员。目前Dextro与科林研发的Flex G和H系列介电蚀刻工具兼容，该公司计划2025年前将兼容性扩展至更多任务具。

Dextro现已在全球多个先进的半导体芯片厂投入使用，确保改善一次成功（first-time-right，FTR），减少维护错误。

科林研发的协作机器人目的是以准确性和可重复性，执行高精度维护任务，因为使用人工进行维护容易出错，通过自动化重复而复杂的工作，Dextro可解决工程师人员短缺、现代芯片制造设备日趋复杂等问题，另外还可减少浪费、耗材及因生产中断损失的时间，增加工具的正常运行时间。

三星电子副总裁兼内存蚀刻技术团队主管Young Ju Kim表示，当制造设备需要维护时，必须快速有效地完成工作，避免设备停机时间延长和成本浪费。Dextro无误维护有助提高生产变异性和良率。

来源：十轮网一点号