长江存储申请一种半导体器件及其制备方法、存储系统专利,有效减少沟道层和铁电层之间氧化层的形成

360影视 2024-12-13 12:30 8

摘要:国家知识产权局信息显示,长江存储科技有限责任公司申请一项名为“一种半导体器件及其制备方法、存储系统”的专利,公开号CN 119110593 A,申请日期为2023年6月。

金融界2024年12月13日消息,国家知识产权局信息显示,长江存储科技有限责任公司申请一项名为“一种半导体器件及其制备方法、存储系统”的专利,公开号CN 119110593 A,申请日期为2023年6月。

专利摘要显示,本申请公开了一种半导体器件及其制备方法、存储系统,该半导体器件包括堆叠结构和沟道结构,堆叠结构包括交替堆叠的栅极层和绝缘层,沟道结构沿堆叠结构的堆叠方向贯穿堆叠结构。沟道结构包括沟道层和围绕所述沟道层的存储层,存储层位于所述栅极层和所述沟道层之间。其中,存储层包括铁电层,沟道层包括金属氧化物半导体。由于金属氧化物半导体不会与铁电层之间产生界面层,因此可以有效减少沟道层和铁电层之间氧化层的形成,降低氧化层击穿的风险,进而增加器件可靠性,实现了金属氧化物半导体沟道于 3DNAND 结构的应用。

来源:金融界

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