你的车间需要一款静音神器

摘要：芯片制造需要稳定的环境EFFBE ADS-ICD空气弹簧系列专为半导体设备研发带来突破性的振动控制解决方案✅技术亮点：►主动减震系统实时监测并抵消0.5-200Hz振动精度达到±0.8μm►智能压力调节32组单独气囊单元支持0.1Pa级压力精确控制►洁净室设计

芯片制造需要稳定的环境
EFFBE ADS-ICD空气弹簧系列专为半导体设备研发
带来突破性的振动控制解决方案

✅技术亮点：
►主动减震系统
实时监测并抵消0.5-200Hz振动
精度达到±0.8μm
►智能压力调节
32组单独气囊单元
支持0.1Pa级压力精确控制
►洁净室设计
全不锈钢材质+特殊防脱落涂层
通过ISO Class 1认证

光刻机成像精度提升25%晶圆良品率提高至99.98%设备维护周期延长3倍能耗降低18%

🏆行业认可：
获SEMI S2/S8安全认证
符合VCI-2019振动标准
入选IEEE推荐方案

💡维护建议：
每月路密封检测
推荐使用原厂校准设备

来源：阿晶科技时代

标签：不锈钢材质静音车间洁净室空气弹簧

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