摘要:但很多人可能不知道,光刻机只是“相机”,真正的底片是光刻胶。没有光刻胶,光刻机再强大,也拍不出清晰的芯片电路。过去很长一段时间,这个“隐形英雄”几乎被国外垄断。
说到芯片制造,大家最熟悉的关键词大概是——EUV光刻机。它就像芯片工厂的“照相机”,没有它,就无法进入5nm以下的先进工艺。
但很多人可能不知道,光刻机只是“相机”,真正的底片是光刻胶。没有光刻胶,光刻机再强大,也拍不出清晰的芯片电路。过去很长一段时间,这个“隐形英雄”几乎被国外垄断。
而就在9月4日,无锡传来一个大消息。中国首个掌握 EUV光刻胶核心技术 的创新平台正式启动。这意味着,我们不仅能造芯片的“照相机”,也能自己做“底片”了。
在2025集成电路(无锡)创新发展大会上,宣布了两个重磅项目:
• 无锡先进制程半导体纳米级光刻胶中试线:这是国内首个掌握 MOR型(金属氧化物)光刻胶 核心原材料、配方和应用技术的平台,它研发出的光刻胶要对标世界一流水准。
• 江苏(集萃)光刻胶树脂合成中试线:全国唯一采用连续流技术制备光刻胶树脂的平台,首创高分子稳定合成的新装备和工艺。
因为 MOR型光刻胶是EUV时代的新材料,它能突破现有光刻胶的限制,让芯片栅极更细、缺陷率更低,真正满足5nm以下工艺的需求。
不仅是CPU、GPU这些高端芯片,未来的DRAM内存、NAND闪存都将逐步进入EUV时代,这些都离不开先进光刻胶。换句话说,今天的突破,直接关系到未来整个半导体产业的核心竞争力。
过去,EUV光刻机被视为“皇冠上的明珠”,而EUV光刻胶,则是这颗明珠的底座。如今,这个底座我们终于自己掌握了。
这不仅是无锡的突破,更是中国半导体产业在全球竞争格局中向前迈出的坚实一步。
来源:星秘空间