新毅东取得光刻机光强检测系统专利,显著提升检测精度

360影视 2025-01-07 14:00 3

摘要:国家知识产权局信息显示,新毅东(北京)科技有限公司取得一项名为“一种光刻机光强检测系统”的专利,授权公告号 CN 222259839 U,申请日期为 2024年4月。

金融界2025年1月7日消息,国家知识产权局信息显示,新毅东(北京)科技有限公司取得一项名为“一种光刻机光强检测系统”的专利,授权公告号 CN 222259839 U,申请日期为 2024年4月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种光刻机光强检测系统,包括光强信号采集电路、ADC转换电路、MCU模块和通信模块。光强信号采集电路通过分压电路、差分放大电路、低通滤波电路、电压跟随器和钳位保护电路,实现对光强信号的精确采集和保护。其中,分压电路采用三个串联电阻设计,中间电阻为滑动变阻器,方便调节信号强度并减少干扰。差分放大电路对信号进行差分放大。ADC转换电路将模拟信号转换为数字信号,并通过SPI通讯协议传输至MCU模块。MCU模块对数字信号进行处理和分析,并通过通信模块将结果输出至外部设备或系统。本系统适用于光刻机光强检测领域,能够显著提升检测点处光照强度的检测精度,为光照均匀性评判提供重要依据。

天眼查资料显示,新毅东(北京)科技有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币,实缴资本870.5502万人民币。通过天眼查大数据分析,新毅东(北京)科技有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目55次,知识产权方面有商标信息22条,专利信息78条,此外企业还拥有行政许可7个。

来源:金融界

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