摘要：进入2025年，国内半导体并购潮仍在继续。据北方华创3月11日发布的公告，该公司拟通过受让股份的方式取得对沈阳芯源微电子设备股份有限公司（下称“芯源微”）的控制权。北方华创此举意在将业务触手伸向光刻设备领域，完善其在半导体市场的产业链布局，目前，除光刻机和CM

本报（chinatimes.net.cn）记者石飞月 北京报道

进入2025年，国内半导体并购潮仍在继续。据北方华创3月11日发布的公告，该公司拟通过受让股份的方式取得对沈阳芯源微电子设备股份有限公司（下称“芯源微”）的控制权。北方华创此举意在将业务触手伸向光刻设备领域，完善其在半导体市场的产业链布局，目前，除光刻机和CMP抛光外，芯片制造所需要的核心设备该公司均有布局。业内人士指出，企业发展成熟后通过并购来整合资源、提升市场占有率是半导体产业发展的必然趋势，也是中国半导体企业走向世界所必不可少的步骤。

受让两大股东全部股份

北方华创公告称，该公司近日召开第八届董事会第二十次会议，审议通过了《关于协议受让沈阳芯源微电子设备股份有限公司部分股份的议案》，公司将以现金为对价，协议受让沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）持有的芯源微9.49%股份，合计19064915股，受让价格为88.48元/股，交易金额约为16.87亿元。另据芯源微公告，3月10日，先进制造已经与北方华创签署了《股份转让协议》。

不过对于北方华创来说，9.49%的持股比例还难以满足其“胃口”，该公司还计划受让芯源微更多股份。北方华创在公告中透露，沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有芯源微8.41%的股份，合计16899750股，拟通过公开征集转让方式协议转让所持芯源微的全部股份，为更好地发挥协同效应，北方华创将积极通过参与公开挂牌竞买等方式继续增持芯源微股份并取得对其控制权。

目前，芯源微不存在控股股东和实际控制人，持股5%以上股东包括辽宁科发实业有限公司（持股10.61%）、先进制造（持股9.49%）和中科天盛（持股8.41%）。如果北方华创成功受让先进制造与中科天盛所持有的芯源微股份，该公司持股比例将达到17.9%，成为芯源微第一大股东。

不过，本次股权转让事项若想成功实施，尚需取得国有资产监督管理部门批准，并经上海证券交易所进行合规性确认，此外还需先解决先进制造实控人郑广文曾做出的限售芯源微股份承诺的问题，以及先进制造部分股份存在质押的问题。

根据《沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，郑广文曾承诺：在任职期间，每年转让股份不超过本人直接和间接持有芯源微股份总数的25%；离职半年内将不以任何方式转让本人直接和间接持有的股份。而先进制造转让芯源微股份实质为郑广文转让间接持有的芯源微股份，因此，本次交易尚需芯源微股东大会审议通过豁免郑广文对标的股份的自愿性股份限售承诺义务。

拓展半导体业务边界

在国内半导体产业，北方华创处于龙头位置，除光刻机和CMP抛光外，芯片制造所需要的核心设备该公司均有布局。

而芯源微恰好能弥补北方华创光刻设备这块短板。芯源微成立于2002年，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备。其中的涂胶显影设备是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备，主要与光刻机配合进行作业，通过机械手使晶圆在各系统间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。

全球前道涂胶显影设备市场长期被日本厂商高度垄断，是国内少数几个国产化率仍处于较低水平的“卡脖子”领域。而芯源微是目前国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已完成在前道晶圆加工环节28nm及以上工艺节点的全覆盖，并可持续向更高工艺等级迭代。

北方华创在公告中表示，本次交易基于公司发展战略进行，旨在发挥协同效应，提高股东回报。“在半导体装备业务板块，北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、炉管、清洗、快速退火和晶体生长等核心工艺装备，芯源微的主要产品包括涂胶显影设备等核心工艺装备。双方同属集成电路装备行业，但产品布局有所不同，具有互补性，有利于双方协同效应的发挥。”

华福证券也在最新研报中表示，在技术与工艺方面，涂胶显影设备的均匀性、稳定性直接影响刻蚀的精度，因此融合后的联合研发和工艺参数的匹配可显著提升半导体制造众多设备之间的协同性和精密性；在市场方面，两家企业在下游覆盖领域上有重叠亦有互补，融合后可加深客户粘性的同时快速拓展市场空间、优化资源配置且有效降低成本，加速国产设备的渗透。

至于接下来北方华创是否还有在光刻领域并购的计划，《华夏时报》记者采访了北方华创方面，截至发稿对方未给出回复。

芯片产业并购潮迭起

半导体工艺复杂，设备种类繁多且技术门槛极高，因此并购是海外巨头追求协同效应、扩展新领域最常用的手段。根据半导体产业纵横转引 CINNO IC Research 数据，2024 年全球前5名的半导体设备厂商应用材料、ASML、TEL、Lam 和 KLA 的合计收入约占全球半导体设备市场的 85%，而这些企业都是通过并购补充短板，提升核心技术水平，扩大市占率并逐步定型，成为了稳定的平台类半导体设备企业。

而对于国内半导体产业来说，在外部制裁加码与内部国产化率亟待提速的背景下，并购重组也成为行业整合资源、突破技术瓶颈的重要路径，因此这两年并购潮迭起。菁锐智库专家、正高级工程师袁博告诉《华夏时报》记者，企业发展成熟后通过并购来整合资源、提升市场占有率是半导体产业发展的必然趋势，也是中国半导体企业走向世界所必不可少的步骤。“中国半导体行业并购潮的出现，代表我国半导体行业已经进入到做大做强的阶段，在未来一段时间，中国有可能在不同领域出现更多大型和超大型的半导体集团。”

北方华创能够成为国内半导体设备的龙头，同样离不开并购这一手段。2017年，北方华创斥资1.04亿元，收购了美国集成电路清洗机装备公司Akrion Systems LLC；2020年，该公司又斥资0.64亿元收购了北广科技旗下的射频技术应用业务相关资产。

近几年，国产半导体产业在国产化替代潮下迎来发展机会，北方华创的业绩表现非常亮眼，该公司公布的2024年业绩预告显示，该公司营收为276亿元—317.8亿元，比上年增长25%—43.93%；归母净利润为51.7亿元—59.5亿元，同比增长32.6%—52.6%。芯源微去年业绩表现欠佳，归母净利润同比下降15.85%，原因在于该公司去年持续加大研发投入力度，研发费用增加，且随着公司规模的扩大，成本费用增加。

华福证券在研报中总结道，在当前全球半导体产业竞争激烈、技术封锁严峻的形势下，本次强强联合有望成为突破困境、加速国产化落地的关键一步，设备企业将从重复性较高的单点竞争发展为更良性的平台竞争，而半导体行业的整合也将开始向各个环节蔓延，从而开启新一轮的资源优化与竞争格局的重塑。

责任编辑：黄兴利 主编：寒丰

来源：华夏时报