摘要：《工业互联网赋能新型工业化优秀典型应用案例》征集活动（工业互联网赋能新型工业化典型应用案例在线申报）自3月份开放申报以来，目前已收到几十家企业的申报，现甄选部分典型应用案例进行公示巡礼。后续将继续从申报候选名单中遴选具有示范引领作用的应用案例进行公示巡礼，供业

《工业互联网赋能新型工业化优秀典型应用案例》征集活动（工业互联网赋能新型工业化典型应用案例在线申报）自3月份开放申报以来，目前已收到几十家企业的申报，现甄选部分典型应用案例进行公示巡礼。后续将继续从申报候选名单中遴选具有示范引领作用的应用案例进行公示巡礼，供业界学习参考、借鉴交流，共同丰富工业互联网赋能新型工业化生动实践。本期发布格创东智科技有限公司的格创东智OHT天车解决方案：打造顶尖国产自研半导体晶圆搬运系统。

工业互联网赋能新型工业化典型应用案例巡礼（十）

打造顶尖国产自研半导体晶圆搬运系统

企业名称

格创东智科技有限公司

案例申报方向

工厂级

案例名称

打造顶尖国产自研半导体晶圆搬运系统

案例介绍

我国某重要的高端核心电子器件供应基地、半导体新器件新技术创新基地，为提升晶圆搬运效率，支撑半导体生产线的稳定、高效运行，决定建设半导体领域最先进的，具有自主知识产权、高效稳定、智能化程度高的国产自研晶圆搬运系统。基于该基地的建设规划及现状，格创东智从生产效率提升、数据安全、紧密空间设计三个方面进行了详细的方案设计，结合工业互联网技术，为其提供空中物料传输、人机协同、数据传输等整体解决方案。

推广成效

通过构建完整的晶圆搬运系统，格创东智帮助客户在空间和设备利用、运送安全与效率、生产调度灵活性等方面取得了显著成效：

第一，为客户提供天花板架设轨道、采用多层设计OHB结构，充分考虑客户工厂不同工序间传送路径间的配合，优化天车传送路径，提高客户整体空间使用率和设备使用效率。

第二，极大地降低晶圆搬运过程搬运震动引发晶圆破损风险，搬运精度控制在±1mm以内，搬运过程载具振动值＜0.5G，关键取放过程实施多重防护，为生产物料及时稳定安全运输保驾护航。

第三，有效整合MES、EAP、OHTC、OHT等软件传输层的数据，充分考虑生产工艺过程物料运输的最优路径，有效避免拥堵，同时与FAB其他设备、软件紧密协同，通过数字孪生技术实现对整厂搬运有效追踪，为管理者提供了可靠、实时数据信息，同时增强了生产调度的灵活性和响应速度。

格创东智在不同晶圆厂的Demo Line验证时，已提前考虑市场需求，在性能、稳定性及软件功能等方面持续开展了大量优化迭代工作。为了更好地助力客户成功，结合工业互联网平台，格创东智不断迭代“AI+工业软件+装备智能”三大核心能力，加速软硬件能力的整合。

格创东智自主研发的OHT天车，涵盖前道6吋/8吋SMIF Pod和12吋FOUP，后道Magazine，满足不同工序工厂的载具搬运需求；并提供多种轨道模组，满足12吋晶圆厂复杂的Layout需求；在OHT设备与人员高效协作方面，通过11种安全防护传感器，有效识别与自动预警天车速度、障碍躲避、碰撞检知、料盒断裂、升降晃动、硅片坠落、料盒位置等运行状况，打造高效的自动化、洁净化、低震动化的物流自动搬运方式。

此外，格创东智通过设备、软件、算法和应用多维度自主研发成果结合，助力客户业务成功，提供AMHS在调度层、控制层、设备层的全栈化产品，释放客户生产的无限可能。

编辑评价

首先，生产效率提升，通过天车部署安装，覆盖对接多机台复杂工艺流程间的物料搬送，通过MCS进行全流程的物料自动搬送，弥补了传统人工搬运在效率、失误率、洁净度等方面漏洞。

其次，数据安全，针对客户场景提供定制化网络安全方案，保障客户对天车运行数据、数据传输的稳定性、可行性、安全性。

最后，紧密空间设计，系统方案包含自研OHT、OHTC、MCS、异形轨道等，整个AMHS系统包含搬运、通讯、存储等众多硬件装备及其软件，覆盖整个半导体前道工序，充分考虑客户在紧密空间下的物料搬运需求整体解决方案。

企业简介

格创东智是一家AI驱动的工业智能解决方案提供商，2018年由TCL战略孵化，依托AI、工业软件、智能装备三大支柱，坚持软硬融合战略，为泛半导体等制造业企业提供全生命周期解决方案及端到端数字化服务，满足新型工业下制造业智能化需求。

公司汇聚全球1500+顶尖人才，总部包含深圳、武汉、上海，在北京、天津、广州、宜兴、惠州等地设有研发、运营、交付中心，业务遍布中国、欧洲、中东、东南亚等全球各地。

来源：胡媛Sally