微机械薄膜变形镜（MMDM）又称微机电系统变形镜、MEMS变形镜，是采用微机电系统（MEMS）工艺制成的变形镜（DM）。根据表面形状不同，微机械薄膜变形镜可分为连续表面变形镜、分立表面变形镜两种，其中分立表面变形镜又分为piston型、pistion-tip/

波前 变形镜 微机械 2024-12-12 14:44  1