综述：用于生物医学的柔性微机械超声换能器（MUT）
块体型压电换能器阵列在医学成像中的使用是一种基于厚度模式压电振动的成熟技术。同时，MEMS制造技术的进步也催生了微机械替代品的出现，即压电式微机械超声换能器（PMUT）和电容式微机械超声传感器（CMUT）。这两类器件分别利用压电薄膜和静电力以弯曲模式工作。此外
微机械
2025聚焦性超声（9）：适用于生物医学应用的柔性微机械超声换能器 (MUT)
Joshi, S.V., Sadeghpour, S., Kuznetsova, N.et al.Flexible micromachined ultrasound transducers (MUTs) for biomedical applications.
微机械薄膜变形镜MMDM可校正波前畸变 欧美企业处领域领先水平
微机械薄膜变形镜（MMDM）又称微机电系统变形镜、MEMS变形镜，是采用微机电系统（MEMS）工艺制成的变形镜（DM）。根据表面形状不同，微机械薄膜变形镜可分为连续表面变形镜、分立表面变形镜两种，其中分立表面变形镜又分为piston型、pistion-tip/