电弧探测器是一种用于监测RF等离子系统中电弧的设备，主要用于半导体行业以及其他需要等离子体辅助工艺的行业当中。等离子处理过程中产生的电弧可能会导致靶材和腔室损坏，从而导致基材损坏和颗粒产生。电弧探测器可以快速检测电弧，结合配套软件对等离子微电弧事件进行实时监测

探测器 电弧 电弧探测器 2024-12-13 00:04  2