光刻

光刻机研制为什么难?

光刻机作为重大技术装备领域的国之重器,不仅是衡量一个国家综合国力与科技水平的关键指标,还直接关系到国家安全和科技自主可控的未来。然而,其研制之路却异常艰难,充满了重重挑战。近期,工业和信息化部发布的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》中,

asml 光刻 光刻机 2024-12-21 12:31  2

光刻机研制为什么难

光刻机作为重大技术装备领域的国之重器,不仅是衡量一个国家综合国力与科技水平的关键指标,还直接关系到国家安全和科技自主可控的未来。然而,其研制之路却异常艰难,充满了重重挑战。近期,工业和信息化部发布的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》中,

asml 光刻 光刻机 2024-12-18 03:02  2

化学所张德清课题组在聚合物半导体的光刻图案化方面取得新进展

高迁移率聚合物半导体的设计合成已经取得很大进展,但将聚合物半导体的可溶液加工、本征柔性这些独特性质应用在集成电路里仍面临很多困难。在集成电路中,对聚合物半导体进行图案化加工可以降低漏电流,避免相邻器件间的串扰,降低电路整体功耗。可控光化学交联技术是一种与现有微

光刻 聚合物半导体 张德清 2024-12-12 05:11  2