苏州美芝恩取得电子束蒸发台SHUTTER板防污染装置专利，能防止内部污染 国家知识产权局信息显示，苏州美芝恩电子科技有限公司取得一项名为“一种电子束蒸发台用SHUTTER板防污染装置”的专利，授权公告号CN 222160332 U，申请日期为2023年11月。 电子束 shutter 防污染装置 2024-12-18 17:52 2
