摘要：国家知识产权局信息显示，苏州美芝恩电子科技有限公司取得一项名为“一种电子束蒸发台用SHUTTER板防污染装置”的专利，授权公告号CN 222160332 U，申请日期为2023年11月。

金融界2024年12月18日消息，国家知识产权局信息显示，苏州美芝恩电子科技有限公司取得一项名为“一种电子束蒸发台用SHUTTER板防污染装置”的专利，授权公告号CN 222160332 U，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本实用新型涉及蒸发台设备技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台用SHUTTER板防污染装置，其技术方案包括蒸发台，所述蒸发台内部设置有真空腔，所述真空腔下端安装有安装底座，所述安装底座上端安装有散热板，所述散热板上段安装有坩埚底座，所述坩埚底座上安装有坩埚，所述散热板一侧安装有制冷器，所述真空腔一侧安装有铰链座。本实用新型通过在蒸发台内部的坩埚上端设置一种能对坩埚表面进行保护可以便捷调整的SHUTTER板防污染装置，因为坩埚内部的金属源的熔化可能和沸腾同时产生，该保护装置能有效保护飞溅的金属源，能很好的保护内部的装置，一定程度上能防止内部的污染。

来源：金融界