论文推介丨KCl溶液结晶辅助表征4H-SiC衬底中的微划痕
4H-SiC具有宽带隙(3.26 eV,是硅的3倍)、高击穿场强(2.8×106 V/cm,是硅的10倍)、高饱和电子漂移速度(2.2×107 cm/s,是硅的10倍)、高热导率(4.9 W·cm-1·K-1,是硅的3倍)和高稳定性等优良特性,已广泛应用于新能
4H-SiC具有宽带隙(3.26 eV,是硅的3倍)、高击穿场强(2.8×106 V/cm,是硅的10倍)、高饱和电子漂移速度(2.2×107 cm/s,是硅的10倍)、高热导率(4.9 W·cm-1·K-1,是硅的3倍)和高稳定性等优良特性,已广泛应用于新能