电子束

电子束在检测 芯片 缺陷方面的作用日益增强

目前常见采用两种检测方法:电子束(e-beam)检测和光学检测。这两种方法都有明显的优缺点,适用于不同类型的检测。如今,光学检测仍是主流,并且在未来几年内仍将如此。需要注意的是,光学检测是电子束检测和原子力显微镜(AFM)等技术的补充,他们是互补关系,而非竞争

芯片 电子束 kla 2024-12-03 09:59  2

2030全球与中国电子束加工市场现状及未来发展趋势

电子束加工系统,通常缩写为EBP系统,是一类先进的技术解决方案,专门用于对材料进行精确而受控的高能电子应用。这些系统因其能够实现高度局部化的修改而不引起显著的热效应,从而保持处理材料的完整性,在广泛的工业和研究领域中发挥着重要作用。从本质上讲,电子束加工系统是

电子束加工 电子束 uk 2024-11-20 14:49  1