电子束检测，至关重要
电子束检测因灵敏度和吞吐量之间的权衡而臭名昭著，这使得在这些先进节点上利用电子束进行全面缺陷覆盖尤为困难。例如，对于英特尔的18A逻辑节点（约1.8纳米级）和三星数百层的3D NAND存储器，缺陷检测已达到极限。
电子束
英国部署全球第二台200kV电子束光刻设备，分辨率可达5nm以下
近日，英国南安普敦大学宣布，成功开设了日本以外首个分辨率达 5 纳米以下的尖端电子束光刻 (EBL) 中心，可以制造下一代半导体芯片。这也是全球第二个，欧洲首个此类电子束光刻中心。
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电子束融化（EBM）技术，作为工业级金属增材制造的核心工艺，凭借出色的零件致密度和机械性能，已广泛应用于航空航天、医疗植入以及高端汽车制造等高要求领域，正不断展现其不可替代的价值。
关键尺寸扫描电镜（CD-SEM）技术解读
计量学是推动当前及未来几代半导体器件开发与制造的重要基石。随着技术节点不断缩小至100纳米，甚至更小的线宽，以及高深宽比结构的广泛应用，扫描电子显微镜（SEM）凭借其高分辨率和多功能性，依然在全球半导体制造的多个阶段中占据核心地位。
电子束光刻
电子束光刻作为下一代光刻技术的核心方向之一，其本质是利用电子波长短（
先进的缺陷检测如何推动下一波芯片创新？
半导体行业正处于变革时期，在制造速度更快、效率更高的微芯片方面，它正不断突破物理极限。随着我们迈向“埃时代”，芯片特性以原子为单位进行测量，制造挑战已达到前所未有的水平。当今最先进的芯片，例如2纳米及以下节点的芯片，不仅要求在设计上进行创新，也要求在制造这些芯
东方晶源电子束设备出机 60+ ，背后有哪些硬实力？
独家获悉：东方晶源电子束量检测设备出机突破60台里程碑，这意味着，东方晶源设备在该领域的技术性能已经稳定，并获得用户认可，能够满足半导体制造企业的生产需求，相关市场有望迎来突破性增长。据行业首发信息披露，东方晶源作为深耕集成电路良率管理领域的头部企业，其电子束
5nm以下缺陷检测亟需新方法
这些缺陷不仅尺寸更小、更难检测，而且还常常隐藏在复杂的器件结构和封装方案之下。此外，数十年来备受信赖的传统光学和电学探测方法，在现代芯片架构的复杂性面前已显得力不从心。
电子束问题咋解决？能量压缩破困境！看看它咋做到的！
大家好！今天一起来了解激光等离子体电子束！咱们要搞清楚它是怎么被压缩能量的，这可是能改变未来科技的大事情哦！激光等离子体加速器产生的电子束很厉害，但也有缺点，就像一把锋利却有点瑕疵的宝剑，今天咱们一起来看看怎么把这瑕疵给去掉。
5nm以下的缺陷检测
除了尺寸更小、更难检测之外，缺陷还常常隐藏在复杂的器件结构和封装方案之下。此外，数十年来备受信赖的传统光学和电学探测方法已证明无法应对现代芯片架构的复杂性。
带你一文了解扫描透射电子显微镜
它借助电子束在样品表面进行扫描，利用电子穿透样品来实现成像。该技术对操作环境和设备要求较高，需要维持极高真空度，其电子学系统也比TEM和SEM更为复杂，这使得STEM在硬件配置和操作维护方面都面临一定挑战，但同时也为其提供了独特的性能优势。
分享：电子束精炼FGH4096高温合金的高温氧化行为
FGH4096合金是一种常见的粉末高温合金,具有组织均匀、热加工变形性能好等优点,是制备高性能航空发动机涡轮盘、环形件及其他热端部件的关键材料,已应用于推重比为10以上的航空发动机上[1-3]。在高温环境下长时服役时,粉末高温合金的氧化现象严重,这会降低航空发
电子束 高温合金 t fgh4096 fgh4096高温合金 2025-04-07 13:30 7
SEMICON 2025东方晶源领航：国产设备量检测赛道展现良率管理新高度
在半导体行业的瞩目之下，全球半导体年度盛会SEMICON China 2025圆满闭幕，此次盛会汇聚了超过1400家产业链上下游企业，吸引了逾十万行业精英共聚一堂。东方晶源微电子科技（北京）有限公司，作为国内良率提升解决方案的佼佼者，携其全系列产品及最新研发成
APEX经济型减速器——助力TETA电子束焊机高性价比焊接
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2025SEMICON CHINA ：东方晶源新品DR-SEM r655备受瞩目
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东方晶源DR-SEM r655新品发布：国产电子束检测设备迈向新高度
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中国半导体检量测设备行业及其市场研究分析
半导体检量测设备有利于提升芯片良率。检量测设备可以迅速准确地定位并检查工艺流程中的特定区域，实时上传数据至生产线控制系统，以便调整生产设备参数并预警异常，确保工艺稳定并维持生产线的连续运作。