一文看懂芯片的封装工艺(先进封装篇2:晶圆级封装)
我们看下一个先进封装的关键概念——晶圆级封装(Wafer Level Package,WLP)。
我们看下一个先进封装的关键概念——晶圆级封装(Wafer Level Package,WLP)。
扇出型板级封装工艺与扇出型晶圆级封装工艺大体一致,区别在于封装尺寸的变化和载体的不同,不同板级扇出封装工艺的区别主要在于重布线层的先后顺序,本文分述如下:
本文将探讨晶圆级封装的五项基本工艺,包括:光刻(Photolithography)工艺、溅射(Sputtering)工艺、电镀(Electroplating)工艺、光刻胶去胶(PR Stripping)工艺和金属刻蚀(Metal Etching)工艺。