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技术前沿:老美要禁的GAA是什么?

随着器件按比例缩小,寄生电阻和电容又将成为一个新问题。CPP(Contacted Poly Pitch)决定标准cell宽度(见图 1),它是由 Lg、接触宽度 (Contact Width :Wc) 和垫片厚度 ( Spacer Thickness:Tsp)

gaa finfet hns 2025-01-07 21:46  4