浙江杭可仪器申请具有HTGB与HTRB切换功能的晶圆老化系统及使用方法专利,单台晶圆测试系统可实现HTRB和HTGB测量模式自主切换
国家知识产权局信息显示,浙江杭可仪器有限公司申请一项名为“一种具有HTGB与HTRB切换功能的晶圆老化系统及使用方法”的专利,公开号CN 119291475 A,申请日期为2024年12月。
国家知识产权局信息显示,浙江杭可仪器有限公司申请一项名为“一种具有HTGB与HTRB切换功能的晶圆老化系统及使用方法”的专利,公开号CN 119291475 A,申请日期为2024年12月。