半导体专用温控装置（Semiconductor Chiller）主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。 它是一种自平衡循环装置，主要由换热器、循环泵、压缩机和控制系统组成。 属于生产过程中的温控设备。半导体专用温控设备利用制冷循环与工艺冷却水的热交换原

半导体 现状及 温控装置 2025-01-20 15:50  3