科学家发现更高效蚀刻 3D NAND 内存的方法
为了改进数据存储，研究人员正在完善三维 NAND 闪存，这种闪存将单元堆叠起来，以最大限度地利用空间。研究人员发现了一种更快、更高效的方法，可利用先进的等离子体工艺在 3D NAND 闪存中蚀刻深孔。 通过调整化学成分，他们将蚀刻速度提高了一倍，并改善了精度，
为了改进数据存储，研究人员正在完善三维 NAND 闪存，这种闪存将单元堆叠起来，以最大限度地利用空间。研究人员发现了一种更快、更高效的方法，可利用先进的等离子体工艺在 3D NAND 闪存中蚀刻深孔。 通过调整化学成分，他们将蚀刻速度提高了一倍，并改善了精度，