芯片制造的“隐形功臣”,颇尔如何助力良率提升 因为对于半导体设备而言,洁净程度很大意义上决定了利用效率、运行性能和生产成本,污染轻则影响生产效率,重则降低芯片良率,也正因此,过滤贯穿了整个芯片制造链路。 芯片 陈磊 研磨液 cmp 陈淮 2025-03-27 12:33 5