终极半导体破局之路：大尺寸单晶金刚石衬底制备技术突破与挑战 金刚石是由单一碳原子组成的具有四面体结构的原子晶体，属于典型的面心立方(FCC)晶体，空间点群为 oh7-Fd3m。每个碳原子以 sp3杂化的方式与其周围的 4 个碳原子相连接，碳原子密度 1.77×1023 cm-3， 碳-碳键长 0.154 nm， 键角 金刚石 单晶金刚石 单晶 尺寸单晶 金刚石衬底 2025-03-11 17:07 3