静电卡盘，预期内年复合增长率CAGR为5.3%
据QYResearch调研团队最新报告“全球静电卡盘市场报告2023-2029”显示，预计2029年全球静电卡盘市场规模将达到25.6亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为5.3%。
静电卡盘
透视静电卡盘市场，谁主沉浮？
在半导体与光学领域中，部分工艺需要使用静电卡盘（ESC）固定衬底来完成，静电卡盘通常处于下腔室位置。同时静电卡盘也可以实现快速加热以及加载射频功率调节等离子体状态的作用。此外静电卡盘在工艺过程中还具有高稳定性、低颗粒性、控温良好等性能。因此，静电卡盘在半导体、