MEMS测振仪：多模态惯性换能器的动力学建模 使用超声导波（GUW）进行结构健康监测（SHM）是一种成熟的板材和板状结构无损检测技术。然而，针对纤维-金属层压板（FML）的结构健康监测仍是当前的研究主题。特别是，它需要结构集成的传感器来监测FML的内层。虽然压电晶片主动传感器（PWAS）能够分辨甚至超过1 模态 换能器 mems 测振仪 mems测振仪 2025-03-13 08:35 9