3~4英寸Fe掺高阻β-Ga₂O₃单晶的制备及其性能研究
β-Ga2O3作为超宽禁带半导体材料,因优异的耐高压性能(理论击穿场强达8 MV/cm)和低成本制备潜力,在高压功率电子器件领域备受关注。然而,β-Ga2O3高熔点(约1800 ℃)、各向异性强、易解理等特性使得大尺寸高质量单晶生长难度极大。导模法(EFG)虽
β-Ga2O3作为超宽禁带半导体材料,因优异的耐高压性能(理论击穿场强达8 MV/cm)和低成本制备潜力,在高压功率电子器件领域备受关注。然而,β-Ga2O3高熔点(约1800 ℃)、各向异性强、易解理等特性使得大尺寸高质量单晶生长难度极大。导模法(EFG)虽
近年来,第四代超宽禁带半导体材料氧化镓(β-Ga2O3)因禁带宽度达4.9 eV、击穿场强超8 MV/cm等特性,在高压功率器件、深紫外探测领域展现巨大应用潜力。然而,传统导模法(EFG)单晶生长技术因依赖贵金属铱坩埚而导致成本高昂,成为氧化镓产业化的主要瓶颈