全球旋涂碳硬掩模市场前7强生产商排名及市场占有率 模可用于多层光刻工艺，具有高抗蚀刻性、低拥有成本、低缺陷、高对准精度、良好的间隙填充和形貌平坦化。 SOC是一种高含碳聚合物溶液。 作为涂料材料，聚合物需要溶解在有机溶剂中，且固化后不溶于涂层上层。 SOC 的高碳含量 (>80%) 对于良好的耐蚀刻性非常重要 生产商 旋涂 掩模市场 全球旋涂 掩模 2025-03-14 00:17 3