euv光刻胶

EUV光刻胶，选购指南

芯片行业寻求先进制程中灵敏度、分辨率与线宽粗糙度的最佳平衡。在EUV光刻技术中，尤其是在高数值孔径EUV系统中，平衡分辨率、灵敏度与线宽粗糙度（LWR）的权衡变得愈发困难。