突破14nm工艺检测壁垒：天准科技TB2000明场纳米图形晶圆缺陷检测装备开启国产缺陷检测新纪元 3月26日，苏州天准科技股份有限公司（股票代码：688003.SH）宣布，旗下矽行半导体公司研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测装备TB2000已正式通过厂内验证，将于SEMICON 2025展会天准展台（T0-117）现场正式发布。 晶圆 明场 tb2000 明场纳米 图形晶圆 2025-03-26 09:34 4