光学陀螺仪

光学小知识 | 氮化硅谐振光学陀螺仪的原理与进展

随着自动驾驶汽车的发展，对不依赖GPS信号的微型光学陀螺仪的需求日益增长。在硅芯片上制造的氮化硅(SiN)谐振光学陀螺仪因具有超低损耗波导、小型化尺寸以及与CMOS工艺兼容等特点，成为满足这一需求的理想技术平台。