高熵透明陶瓷:“改写”半导体刻蚀设备寿命 透明陶瓷作为一种优秀的结构功能一体化材料,相较于其它具有可见光透过性能的材料,如单晶、玻璃等,透明陶瓷具有诸多优势。例如,单晶的生产周期长,成本高昂且难以实现大批量生产,而玻璃的强度硬度和耐热震性能较差。高质量的透明陶瓷不仅具有媲美单晶的透过率,还具有高强度、 半导体 陶瓷 刻蚀 刻蚀设备 半导体刻蚀 2025-03-28 23:37 3